Open Artwork System Interchange Standard (OASIS) adalah format file biner yang digunakan oleh komputer untuk mewakili dan mengekspresikan pola elektronik untuk sirkuit terpadu selama desain dan pembuatannya dikembangkan oleh SEMI. Bahasa mendefinisikan kode yang diperlukan untuk bentuk geometris seperti persegi panjang, trapesium, dan poligon. Ini menentukan jenis properti yang dapat dimiliki masing-masing, bagaimana mereka dapat diatur ke dalam sel yang berisi pola yang dibuat oleh bentuk ini dan menentukan bagaimana masing-masing dapat ditempatkan relatif satu sama lain. Ini mirip dengan GDSII.
Perkenalan
OASIS adalah konon penerus komersial untuk desain sirkuit terpadu dan manufaktur bahasa tata letak pola elektronik, GDSII.
GDSII dibuat pada tahun 1970-an ketika desain sirkuit terintegrasi memiliki beberapa ratus ribu bentuk geometris, properti, dan penempatan untuk dikelola. Saat ini, mungkin ada miliaran bentuk, properti, dan penempatan yang harus dikelola. Pembuat dan pengguna OASIS mengklaim bahwa pertumbuhan kemampuan penyimpanan dan penanganan data stasiun kerja jauh melampaui pertumbuhan kompleksitas tata letak Sirkuit Terpadu. Oleh karena itu, OASIS mencoba untuk memecahkan masalah yang diklaim dari ukuran besar file GDSII dengan memperkenalkan jenis bentuk geometris yang rumit (hanya 25 jenis trapesium) untuk mengurangi ukuran data. Juga, format numerik panjang variabel (mirip dengan pengodean panjang-run) untuk koordinat diimplementasikan. Terakhir, setiap sel dalam file OASIS dapat dikompresi secara independen oleh algoritme mirip gzip.
Upaya untuk membuat format OASIS dimulai pada bulan Juni 2001. Rilis versi 1.0 dilakukan pada bulan Maret 2004. Penggunaannya memerlukan pengembangan pembaca dan penulis OASIS baru yang dapat digabungkan dengan peralatan desain dan manufaktur yang telah dilengkapi dengan pembaca dan penulis GDSII . Pengadopsiannya lahir dari upaya bersama oleh desain sirkuit terpadu, peralatan, photomask, fabless, Kekayaan Intelektual (IP) pihak ketiga dan perusahaan manufaktur dari Amerika Serikat, Jepang, Taiwan, Korea, dan Eropa.
Versi terbatas dari OASIS, yang disebut OASIS.MASK, memenuhi kebutuhan unik dari peralatan manufaktur photomask semikonduktor seperti generator pola dan sistem inspeksi. OASIS dan OASIS.MASK adalah standar industri.
Contoh Filedata
Di bawah ini adalah representasi teks yang dapat dibaca manusia dari file biner OASIS yang memungkinkan ekspresi tampilan sel “atas” di atas yang disebut “Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell”. Sel teratas ditentukan oleh catatan PROPERTI standar tingkat file bernama S_TOP_CELL. Catatan PROPERTI di bawah merujuk catatan PROPNAME (refNum=0) yang memiliki string propname yang disebut S_TOP_CELL. Sel atas berisi penempatan tiga sel yang disebut “sel bawah”. Sel bawah hanya berisi bentuk geometris.
Setiap baris representasi OASIS di bawah ini berisi (dari kiri) nomor record dan tipe record diikuti dengan serangkaian nilai yang menentukan tipe record tersebut. Misalnya, record RECTANGLE pertama di bawah ini mendefinisikan jenis bentuk persegi panjang berikut, ukurannya, dan lokasi absolutnya:
- Lapisan
- Tipe data
- Lebar
- Tinggi
- Koordinat x kiri bawah
- Koordinat y kiri bawah
Tidak ada dalam catatan RECTANGLE ini adalah opsi untuk menjelaskan lokasi kejadian berulang dari persegi panjang. Selain itu, tipe rekaman ini memungkinkan deskripsi persegi dengan menentukan nilai lebarnya saja. Untuk mengaktifkan deskripsi ini, seseorang harus mengatur apa yang disebut sebagai pola bit untuk record RECTANGLE. Untuk catatan RECTANGLE, pola bit (baik 1 (diaktifkan) atau 0 (dinonaktifkan)) adalah:
SWHXYRDL (Persegi, Lebar, Tinggi, Koordinat X, Koordinat Y, Pengulangan, Tipe Data, Nomor Lapisan).
Untuk catatan RECTANGLE ini, pola bit diatur ke 0WHXY0DL (Bukan persegi, Lebar, Tinggi, Koordinat X, Koordinat Y, Tidak berulang, Tipe data, Nomor lapisan). Rekam RECTANGLE pertama dan kedua di sel “Cell_Placed_Shapes_2″ (CELL refNum=1)” menentukan kejadian persegi panjang berulang. Rekam RECTANGLE pertama (SW0XYRDL) menggunakan pengulangan tipe 10 (rep=rep10). Rekam RECTANGLE kedua (0WHXYR0L) menggunakan repetisi tipe 11 (rep=Rep11). Ada total sebelas tipe repetisi (Rep1-Rep11). Pada pola bit rekaman RECTANGLE kedua, tipe data(D) disetel ke ‘0’ karena tipe data yang sama digunakan di record RECTANGLE pertama berlaku untuk record RECTANGLE kedua Bentuk geometris lain yang didukung OASIS memiliki tipe record POLYGON, TRAPEZOID, CTRAPEZOID, CIRCLE dan PATH ditentukan oleh pola bit yang berbeda.
Menurut catatan CELLNAME di bawah, sel-sel paling bawah memiliki string nama-sel berikut “Cell_Placed_Shapes_1, . . _2 and . . . _3”. Setiap nomor lapisan yang telah ditetapkan ke bentuk geometris memiliki asosiasi dengan catatan LAYERNAME yang menentukan interval lapisan dan string nama lapisan. Dalam tampilan ini, string namalapisan, “Layer_Color_Mapping”, menentukan interval lapisan yang digunakan dalam tabel warna lapisan “layercolormap.data”.
Contoh di bawah ini tidak dimaksudkan sebagai deskripsi lengkap tentang bahasa OASIS. Tujuannya adalah untuk memberikan pemahaman umum kepada pembaca yang tertarik tentang ruang lingkup bahasa OASIS dan bagaimana penerapannya pada representasi dan ekspresi pola tata letak elektronik yang menentukan sirkuit terpadu.
- MAGIC "%SEMI-OASIS\015\012
1 START version="1.0" unit=real0(1000) offsetFlag=0 offsets=[(0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0)]
28 PROPERTY 00010CNS refNum=0 count=(1) string12("Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell")
7 PROPNAME name="S_TOP_CELL" refNum=(0)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_1" refNum=(0)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_2" refNum=(1)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_3" refNum=(2)
3 CELLNAME name="Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell" refNum=(3)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(25:25) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=4(41:46) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(49:49) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(63:63) datatypes=1(0:0)
13 CELL refNum=3
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=0 x=0 y=0
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=1 x=0 y=0
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=2 x=0 y=0
13 CELL refNum=0
20 RECTANGLE 0WHXY0DL layer=41 datatype=1 width=3960 height=1980 x=-440 y=-220
20 RECTANGLE 00H0Y00L layer=42 height=2420 y=1760
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=63 width=3080 height=3960 x=0 y=0
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=43 width=2255 height=55 x=110 y=605
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2860 height=330 y=660
20 RECTANGLE 00H0Y000 height=110 y=2530
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2750 height=220 y=2640
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2255 height=550 y=2860
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=330 height=440 x=2035 y=165
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=935 height=220 y=2310
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=330 height=385 y=3410
20 RECTANGLE S00XY000 x=2585 y=3465
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=44 width=3330 height=1665 x=-125 y=1760
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2670 height=410 y=3425
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=3330 height=250 y=3835
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=250 height=410 x=2955 y=3425
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=45 width=3330 height=1885 x=-125 y=-125
20 RECTANGLE SW0XY000 width=410 x=2545 y=3425
13 CELL refNum=1
20 RECTANGLE SW0XYRDL layer=25 datatype=0 width=160 x=195 y=690 rep=rep10[dim=15 disp=(g(0,1430) g(0,1045) g(550,-1375) g(220,-550) g(165,-495) g(0,1870) g(165,-495) g(825,-1870) g(0,3300) g(275,-1980) g(165,1540) g(110,440) g(55,-2805) g(0,1650))]
20 RECTANGLE 0WHXYR0L layer=46 width=340 height=220 x=105 y=2030 rep=rep11[dim=3 grid=10 disp=(g(55,-21) g(165,-22))]
20 RECTANGLE 0WH0YR00 width=505 height=120 y=2250 rep=rep10[dim=3 disp=(g(2365,-1100) g(0,880))]
20 RECTANGLE 0W0XY000 width=285 x=325 y=1370
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=120 height=540 y=1490
20 RECTANGLE 00HXY000 height=1045 x=490 y=325
20 RECTANGLE 00H0YR00 height=1320 y=2370 rep=rep2[xdim=2 dx=935]
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=890 height=120 x=655 y=1700
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=120 height=825 x=875 y=325
20 RECTANGLE SW00YR00 width=340 y=1150 rep=rep10[dim=3 disp=(g(330,880) g(1265,990))]
2 END
Standar industri
OASIS dan OASIS.MASK sekarang menjadi standar industri formal. Keduanya dimiliki dan dikelola oleh organisasi perdagangan dan standar SEMI. SEMI melayani industri bahan dan peralatan semikonduktor di seluruh dunia.
Spesifikasi berbasis biaya untuk SEMI P39 OASIS dan SEMI P44 OASIS.MASK dapat diunduh dari situs web SEMI.
